日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統

產(chǎn)品型號： FilmTek 1000

所屬分類(lèi)：

產(chǎn)品時(shí)間：2020-09-18

簡(jiǎn)要描述：日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統FilmTek 1000
該公司的產(chǎn)品可以執行非接觸，非破壞性和高精度的折射率測量，半導體，光電，數據存儲，平板，MEMS，光致抗蝕劑，TSV（硅直通電極）和其他成膜過(guò)程。它已交付給大型公司，并在范圍內享有很高的聲譽(yù)。

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日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統FilmTek 1000

?SCI（科學(xué)計算）光學(xué)膜厚測量系統?　

憑借廣泛的測量波長(cháng)，專(zhuān)有算法和分析軟件，我們具有其他公司所沒(méi)有的各種優(yōu)勢。

通過(guò)組合靈活的系統，我們可以準確地響應您的需求。

[關(guān)于SCI（科學(xué)計算）]

SCI（科學(xué)計算）于1993年在加利福尼亞州成立，是一家薄膜分析和設計軟件公司。

在1996 年開(kāi)發(fā)的分析和設計軟件FilmWizasrd ^TM被*為各個(gè)領(lǐng)域的優(yōu)xiu軟件包之后，我們開(kāi)發(fā)了光學(xué)膜厚測量?jì)xFilmTeK ^TM系列。

該公司的產(chǎn)品可以執行非接觸，非破壞性和高精度的折射率測量，半導體，光電，數據存儲，平板，MEMS，光致抗蝕劑，TSV（硅直通電極）和其他成膜過(guò)程。它已交付給大型公司，并在范圍內享有很高的聲譽(yù)。

[產(chǎn)品陣容]

<1> FilmTek 1000系列：簡(jiǎn)單的干涉儀系統

? FilmTek 1000UV（UV?面光源）

 ? FilmTek 1000M（小斑點(diǎn)）

<2> FilmTek 2000系列：干涉儀測繪標準系統，也可以進(jìn)行多層膜分析。

? FilmTek 2000M（小斑點(diǎn)）

 ? FilmTek 2000M TSV（TSV測量）

  FilmTek 2000SE（橢圓儀）

 ? FilmTek 2000PAR

<3> FilmTek 3000系列：使用分光鏡在DUV到NIR范圍內，測量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率圖

? FilmTek 3000M

 ? FilmTek 3000 +近紅外

? FilmTek 3000SE

 ? FilmTek 3000PAR

<4> FilmTek 4000系列：通過(guò)功率譜密度（PSD）進(jìn)行多角度反射率測量和高精度測量

? FilmTek 4000VIS +紅外

 ? FilmTek 4000SE

<5> FilmTek SE：光譜橢圓儀

[FilmTek產(chǎn)品概述]

FilmTek系列是一種光學(xué)非接觸式膜厚測量設備，可進(jìn)行無(wú)損且高精度的折射率測量。

為了進(jìn)行分析，可以使用SCI*的高性能軟件：Film Wizard。

可以在不固定折射率和吸收（衰減）系數的情況下與膜厚度同時(shí)計算折射率和吸收系數。

在測量的同時(shí)輸出光學(xué)膜厚度，然后使用洛倫茲-洛倫茲公式由反射率和透射率確定介電常數。

確定介電常數后，將使用SCI的原始色散公式作為物理屬性值自動(dòng)計算材料的波長(cháng)依賴(lài)性，并自動(dòng)擬合n（折射率）和k（吸收系數）。 ..

另外，由于將折射率的分辨率計算為10-4以上，因此，不僅是由該固定折射率得到的來(lái)自上表面的信息，而且還包括界面層，表面的變化和內傾斜層?？梢圆蹲降接绊?。

[測量例]

產(chǎn)品名稱(chēng)：膜厚測量系統（非接觸式，光學(xué)型）

產(chǎn)品特點(diǎn)

• ?測量波長(cháng)范圍從DUV（190nm）到NIR（1700nm）
• ?大范圍的膜厚和光學(xué)常數（折射率，吸收系數）的測量
• ?通過(guò)軟件可以進(jìn)行未知的薄膜分析
• ?可以深度方向的薄膜特性。
• ?支持支持多角度（廣角）反射率，透射率，橢圓光譜和干涉儀的系統
• ?多可測量5層的折射率，吸收系數和膜厚
• ?有實(shí)時(shí)CD測量模型
• ?有與TCV測量兼容的型號
• ?提供表面粗糙度和帶隙測量模型
• ?測量薄膜特性隨溫度的變化
• ?在任何基材上測量石墨烯厚度

測量規格

• 測量范圍：大1A?150μm
• 世界上小的光學(xué)常數（折射率）：0002
• 膜厚測量分辨率：小03A?