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超小型金屬鍍膜設備MSP MINI的特點(diǎn)
一鍵自動(dòng)鍍膜。沒(méi)有麻煩的操作。高性?xún)r(jià)比機器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目標(φ30mm)。實(shí)現低運行成本。Au 靶材作為標準配置。展示了其在臺式掃描電鏡預處理方面的能力。
可選的靶Ag膜具有優(yōu)異的光澤度,便于光學(xué)顯微鏡觀(guān)察透明材料表面。
概述
本設備是一種帶有磁控靶的金屬鍍膜設備。用光學(xué)顯微鏡觀(guān)察透明材料的表面(Ag 靶材)或用電子顯微鏡(Au/Ag 靶材)將導電膜應用于少量樣品時(shí)使用。
特點(diǎn)
★MSP-mini是桌上SEM觀(guān)察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置。
★為了將小面積的試樣涂布時(shí)的浪費最小化,小面積靶(φ30mm)。
★樣品臺是直接放置滑動(dòng)玻璃的平面樣品臺。
★低電壓涂層,即使是敏感的樣品也幾乎沒(méi)有樣品損傷。
★用1個(gè)按鈕全自動(dòng)進(jìn)行排氣、涂層、泄漏。
★目標金屬是金(Au)標準??蛇x的銀。
★排氣系統采用外置RP5升/min。
★使用輔助試料臺(可選),可提高涂布率,提高效率可以成膜。