ulvac真空計的故障排除

發(fā)布時(shí)間：2022-10-18　點(diǎn)擊量：1105

ulvac真空計的故障排除

使用注意事項

1.由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘留氣體的主要成分不是氮氣，則顯示值與實(shí)際壓力不同。

2.當測量含有氧氣或水蒸氣的氣體時(shí)，燈絲會(huì )迅速反應并劣化。
為了減少消耗，要么降低發(fā)射電流，要么使用具有三層涂層表面的燈絲。

3.在測量10 -4 Pa 或更低的壓力時(shí)，需要對探頭本身進(jìn)行脫氣。
開(kāi)始脫氣時(shí)，大量釋放的氣體會(huì )增加壓力，反過(guò)來(lái)可能會(huì )污染探頭。請務(wù)必在 10 -4 Pa 以下進(jìn)行脫氣。

4.請注意，在高壓（三極管型：10 -1 Pa 或更高）下連續使用會(huì )導致燈絲快速磨損，從而無(wú)法獲得恒定的發(fā)射電流。

1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發(fā)出異常光（燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時(shí)亮）指示值波動(dòng)6.指示值與預期壓力明顯不同7.未輸出設定值信號

1.寫(xiě)筆燈絲不亮

2.探頭燈絲發(fā)出異常光（比平時(shí)亮）

3.燈絲亮但不顯示壓力

原因	解決方法
探頭電纜斷開(kāi)	探頭電纜的維修和更換
控制器故障	要求維修

4.燈絲亮片刻，然后快速熄滅

原因	解決方法
保護電路工作是因為被測壓力很高。	用皮拉尼真空計等檢查壓力。
控制器故障	要求維修

5.指標波動(dòng)

原因	解決方法
探頭或連接探頭的連接處出現真空泄漏	更換手寫(xiě)筆或改善連接處的真空泄漏
觸控筆上的污染	接點(diǎn)更換
探頭電纜在振動(dòng)	如果探頭電纜不斷振動(dòng)，指示值可能會(huì )因探頭電纜內部的摩擦電動(dòng)勢而波動(dòng)，因此請重新考慮電纜安裝方法。

6.指示值與預期壓力有顯著(zhù)差異

原因	解決方法
發(fā)生漏電流	因接觸點(diǎn)臟污和接觸點(diǎn)電纜絕緣不良而更換。
?靈敏度系數設置不正確 ?被測氣體不是氮氣或空氣。	根據手冊正確設置
壓力實(shí)際上與預期不同	與其他真空計檢查

7.無(wú)設定點(diǎn)信號輸出

原因	解決方法
更換控制器中的繼電器	繼電器損壞 → 要求維修
發(fā)射電流失控	如果發(fā)射變?yōu)?NG，設定值信號的輸出也會(huì )被取消 → 更換測針

8.停止發(fā)射電流流動(dòng)的原因及對策

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