軟玻璃材料非接觸式鏡片中心厚度檢測技術(shù)

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軟玻璃材料非接觸式鏡片中心厚度檢測技術(shù)

非接觸式鏡片中心厚度測量機“ CT-Gauge DX"。　

1）設備概要（測量壁厚的原因）

目前，圖像質(zhì)量正在從4K向8K轉變，光學(xué)系統的性能也越來(lái)越苛刻。在這樣的技術(shù)背景下，除了表面形狀和偏心精度之外，還規定了嚴格的中心厚度。

通常，當透鏡壁厚偏離設計值時(shí)，球差會(huì )增大，尤其是在微透鏡中，壁厚誤差會(huì )導致球差擴大和焦點(diǎn)位置波動(dòng)。然而，測量鏡片的中心厚度是一個(gè)相當困難的測量目標，并且尚未建立測量方法。

原因是測量點(diǎn)只有一個(gè)，很難清楚地識別位置。
另外，我想避免接觸測量，如果可能的話(huà)，這可能會(huì )導致劃痕。尤其是半導體曝光機的大口徑鏡頭，
玻璃材質(zhì)是有原因的，但要求光學(xué)性能最高，
壁厚公差嚴格。

測量的另一個(gè)原因是為了
響應在鏡片加工過(guò)程中（特別是在初始階段）測量壁厚的要求。如您所知，被稱(chēng)為難玻璃
材料的軟玻璃材料，由于晶體取向的問(wèn)題，具有被快速刮掉的特性。此外，材料成本
高，我們希望減少加工錯誤。此外，使用其他公司的測量光通過(guò)樣品正面和背面的
反射光測量壁厚的設備無(wú)法進(jìn)行此測量。

* 由于測量粗糙表面時(shí)物體之間的距離會(huì )有輕微誤差，
　建議使用四邊形位移計或在表面涂油。

為了解決這些問(wèn)題，我們在7年前開(kāi)發(fā)了非接觸式鏡片中心測厚機，
目前改進(jìn)的CT-gauge具有以下性能。

◆ 產(chǎn)品配置（以下為標準配置規格）
1）高精度非接觸式位移計單元（2個(gè)）
2）精密XY掃描平臺
3）位移計驅動(dòng)機構
4）位移計四軸調整單元（2套） )? FIX 載物臺規格)
5) 新開(kāi)發(fā)的“內置陶瓷校準儀的單元（帶有獨立的傾斜調整機構）"
6) 通用樣品夾持機構（最大 Φ10 至 100 ）
7) 專(zhuān)用控制箱
8) 分析筆記本電腦
9) 安裝了基于 3D 形貌和透鏡頂點(diǎn)分析算法的定制軟件
　　Hybird Peak Analysis System ( HyPAS )
10) 專(zhuān)用接線(xiàn)電纜

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