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用于半導體制造工藝的單組分密度計介紹

發(fā)布時(shí)間:2021-11-18 點(diǎn)擊量:647

用于半導體制造工藝的單組分密度計介紹


產(chǎn)品概覽

該型號在保留 FUD-1 Model-13 的可維護性和高精度在線(xiàn)測量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),配備了用于半導體制造工藝的小型單元發(fā)射器。


單組分密度計的特點(diǎn)

實(shí)時(shí)濃度測量成為可能,并且易于構建濃度控制系統。

  • 標配模擬DC4-20mA和數字RS232C

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線(xiàn)路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設計,對化學(xué)溶液沒(méi)有影響。


優(yōu)點(diǎn)

  • 可進(jìn)行高精度連續測量

  • 免維護,無(wú)需定期調整和校準

  • 安裝方便,安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行各種調整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過(guò)程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。

  • 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)品的濃度控制(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等)

  • 清洗過(guò)程中清洗液濃度控制(HF、NH4OH、KOH、IPA等)

  • 蝕刻過(guò)程中蝕刻液濃度控制(HF、H2SO4等)


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