日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監測儀CS-900

產(chǎn)品型號：

所屬分類(lèi)：

產(chǎn)品時(shí)間：2020-12-25

簡(jiǎn)要描述：日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監測儀CS-900
下一代濕法HORIBA通過(guò)控制化學(xué)藥品濃度來(lái)提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。
為了在半導體制造過(guò)程中遵守嚴格的化學(xué)濃度控制，我們實(shí)現了滿(mǎn)足現場(chǎng)需求的z佳功能，例如穩定的測量精度，考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。

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日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監測儀CS-900

總覽

下一代濕法HORIBA通過(guò)控制化學(xué)藥品濃度來(lái)提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。

為了在半導體制造過(guò)程中遵守嚴格的化學(xué)濃度控制，我們實(shí)現了滿(mǎn)足現場(chǎng)需求的z佳功能，例如穩定的測量精度，考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。

特征

實(shí)現*的非接觸式和高穩定性

外部直接連接到PFA管道的*傳感器結構消除了污染的風(fēng)險。此外，它消除了安裝傳感器時(shí)的管道工作需求，并消除了化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險。此外，通過(guò)更新傳感器的光學(xué)系統，我們實(shí)現了小型化，同時(shí)保持了與常規產(chǎn)品（CS-600F ^{* 1}）相同的可重復性和穩定性。

高質(zhì)量和穩定的測量

• Contami風(fēng)險為“零”
• 重現性和穩定性相當于傳統產(chǎn)品CS-600F ^{* 1}
• 糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數變化
• 采用HORIBA獨chuang的算法來(lái)糾正氣泡的影響

抑制振動(dòng)效果

• 采用HORIBA獨chuang的光學(xué)系統結構，可防止管道固定和未對準

節省空間

• 將光源和光譜儀集成到電池單元中
• 顯示器使用面板安裝類(lèi)型（9.6厘米x 9.6厘米）

延長(cháng)光源壽命

• 采用LED燈，使用壽命更長(cháng)（5年保修）

改善工作安全

• 半年一次的BG校正周期
• 由于安裝傳感器時(shí)無(wú)需安裝管道，因此降低了發(fā)生化學(xué)泄漏等事故的風(fēng)險。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學(xué)濃度監測儀。

由于不使用光纖的光學(xué)設計以及放大器和傳感器的小型化，增加了安裝布局的靈活性

實(shí)現直接和穩定的化學(xué)物質(zhì)測量（20°C至80°C）

■穩定性

測量條件
測量周期：每3秒測量時(shí)間：1小時(shí)
移動(dòng)平均值：16次溫度：室溫管徑：3/4英寸
樣品濃度（在測量開(kāi)始時(shí)）
NH ₃：0.95％H ₂ O ₂：5.15％H ₂ O ：93.9％

測量結果作為
樣品（實(shí)際溶液）的1小時(shí)的測量結果，顯示出良好的穩定性。

日本horiba非接觸式化學(xué)濃度監測儀CS-900

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