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日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計

產(chǎn)品型號： FUD-1 Model-13

所屬分類(lèi)：

產(chǎn)品時(shí)間：2023-01-04

簡(jiǎn)要描述：日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計FUD-1 Model-13
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢（如可維護性和高精度在線(xiàn)測量）的同時(shí)，還具有用于半導體制造過(guò)程的小型單元型振蕩器。

詳細說(shuō)明：

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計FUD-1 Model-13

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢（如可維護性和高精度在線(xiàn)測量）的同時(shí)，還具有用于半導體制造過(guò)程的小型單元型振蕩器。


單組分密度計的特點(diǎn)

可以進(jìn)行實(shí)時(shí)濃度測量，并且可以輕松構建濃度管理系統。

  • 配備模擬DC 4-20mA和數字RS232C作為標準配置

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標準配置

  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線(xiàn)上

  • 由于潤濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設計，因此對化學(xué)藥品沒(méi)有影響。?


值得

  • 可以高精度連續測量

  • 免維護，無(wú)需定期調整/校準

  • 易于安裝，因為在安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程


用途

  • CMP過(guò)程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制

  • 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)濃度的管理（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）

  • 清潔過(guò)程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IPA等）

  • 控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度（HF，H2SO4等）



日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式單組分密度計FUD-1 Model-13

規范

格式FUD-1模型13
測量參數超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD（密度，溫度，聲速/各種參數）
輸出信號模擬DC 4-20mA（可自由設定濃度值）
數字RS232C（濃度，溫度，聲速，錯誤代碼）
警報上下限測量錯誤
電源供應AC100V-240V 50 / 60Hz（也可以使用DC24V）
施工面板安裝類(lèi)型（符合DIN標準）/板載安裝類(lèi)型（可以選擇安裝在防雨箱中）
環(huán)境溫度0至50℃RH85％以下（無(wú)冷凝）
0至100℃特殊規格-10至160℃（100℃寬度）
功能輸出范圍設置，警報輸出設置，濃度顯示移動(dòng)平均值，濃度顯示偏移和增益設置功能，自診斷功能，故障保護功能，異常值消除
RS485輸出（不能與RS232C同時(shí)輸出）
選項溫度輸出（4-20mA DC）
渠道高達10ch
兼容發(fā)射器型號13 ： SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5




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