半導體設備驗收用數字水平儀SELN-001B介紹

數字水準儀是非常有用的安裝調整和測量工具，可以應用到調整大多數類(lèi)型的機器，例如：調平機床底座、軋輥、工作臺等。0.0.1 mm/m[mils/inch]是機械安裝水平面的正常要求，以確保機械設備的正確功能。其他應用包括檢查直線(xiàn)度、平面度和平行度。

在GB/T1182《形狀和位置公差》國家標準中，將形位公差中的位置公差分為平行度、垂直度、傾斜度、位置度、同軸度、圓跳動(dòng)、全跳動(dòng)等，這些位置公差的對象是單一工件自身的各個(gè)點(diǎn)、線(xiàn)、面，同時(shí)，標準中對這些位置公差有專(zhuān)門(mén)的公差符號。

　　而機械產(chǎn)品安裝過(guò)程中常用的位置公差通常是指兩個(gè)工件之間或工件和基準面之間的關(guān)系，一般包括水平度、平行度和垂直度三類(lèi)。需要注意的是，機械安裝過(guò)程中的“平行度"和“垂直度"只是借用了《形狀和位置公差》中“平行度"和“垂直度"的概念，其含義和要求相差甚遠，且沒(méi)有公差符號表示；“水平度"的概念類(lèi)似于形位公差中的“平面度"，但僅限于平行于地面的平面。

　　以“平行度"為例，單一工件要素平行度測量的主要工具是百分表或千分表，而機械安裝過(guò)程中的平行度則根據對象的不同采取不同的檢測工具和手段。

精密機器，半導體制造設備等的水平調整適合??！改善原來(lái)的水準調整工作??！擴大了測量范圍。（±０．３°ｄｅｇ）??！

5個(gè)優(yōu)點(diǎn)

1、水平為X，Y軸的角度精度為±0.001deg（17.5μ/m）。

2、上下間隔狹窄部位的水平觀(guān)測也OK！

3、通過(guò)瞬時(shí)的數字測量判斷，可以統一作業(yè)者的標準。

4、通過(guò)雙軸同時(shí)調整，縮短了調整作業(yè)工時(shí)。

5、設定合格角度范圍，即使是初學(xué)者，水平調整作業(yè)也很輕松簡(jiǎn)單！