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對10μm以上粗顆粒進(jìn)行分類(lèi)和計數的落塵計數器DTSP10-03介紹
即使在無(wú)塵室中工作，異物的量也沒(méi)有減少。
盡管它是使用粒子計數器進(jìn)行管理的，但不可能將其與缺陷關(guān)聯(lián)起來(lái)。
我想創(chuàng )造一個(gè)干凈的環(huán)境，但不知道如何管理。
我們很難處理從衣服等引入的異物。
如果您想減少產(chǎn)品上附著(zhù)的異物量，則應使用落塵計數器而不是顆粒計數器進(jìn)行測量。
原因是：
① 導致附著(zhù)異物的粗顆粒較大，范圍為 10 μm 至 100 μm，無(wú)法用顆粒計數器測量。
② 大顆粒不會(huì )漂浮在空氣中，而是沉降并成為落塵。
上面提到了兩個(gè)。
因此，通過(guò)測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著(zhù)的異物。
這是一種特殊的測量裝置，可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。
利用樣品收集板（4英寸硅片），利用粗顆粒的沉降特性，對下落的10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級計數。
它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進(jìn)行評估。
*硅晶片：圓盤(pán)狀樣品板，是表面平整度和耐熱性?xún)?yōu)異的半導體基板。
對于頭發(fā)等100μm以上的異物，由于其形狀和重量，不適合使用硅片作為樣品。
建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來(lái)調查較大的異物。
| DTSP10-03 | ||
|---|---|---|
| 最小可測量粒徑 | 10μm | |
| 粒度分級 | 10μm、30μm、50μm、100μm 可在11～99μm范圍內任意設定值*3) | |
| 兼容晶圓尺寸 | 4英寸 | 2英寸*4) |
| 最大測量面積 | φ80mm | φ30mm |
| 修剪功能 | 是的 | 沒(méi)有任何 |
| 顯示切換 | 有（可單獨顯示） | |
*3) 任意分類(lèi)設定的閾值是從校準曲線(xiàn)中獲得的值，無(wú)法保證計數效率。
*4) 僅在 4 英寸區域內保證計數效率，對于 2 英寸區域無(wú)法保證計數效率，計數效率受到限制。
