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超痕量水分儀在半導體制造前端工藝上的運用
超微量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器，可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。
響應速度極快，可以實(shí)時(shí)監測水分含量的變化，還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項?？梢跃_測量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平。
① 叉指換能器（IDT）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán)，對所涂
敏感膜的微小變化做出反應 通過(guò)異形電極進(jìn)行檢測
④ 通過(guò)積分微小變化實(shí)現高靈敏度傳感通過(guò)多次輪換。
半導體制造設備制造商
（主要是前端工藝）
蓄電池制造商及其
材料制造商的制造流程
工業(yè)氣體制造商
響應速度極快，可以在幾秒鐘內監控水分含量的變化，這對于穩定半導體和二次電池制造過(guò)程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用。
無(wú)需重新配置每種背景氣體，當天然氣等成分出現波動(dòng)時(shí)，可以同時(shí)檢測。另一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是傳感器材料是水晶球，使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
該系列中的頂級型號，實(shí)現“超"微量水分測量
測量范圍廣泛的露點(diǎn)，從-110℃到-20℃
除了露點(diǎn)測量之外，還以%水平檢測背景氣體*的成分（相當于平均分子量）
*背景氣體：水分含量測量的目標氣體
該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體。
應用實(shí)例
工業(yè)氣體制造過(guò)程和運輸過(guò)程中的質(zhì)量控制、半導體制造材料氣體的純度控制
中檔型號，可實(shí)現中檔實(shí)時(shí)測量。
1秒內測量從-90℃起的露點(diǎn)變化，非常適合測量實(shí)時(shí)控制系統
也可以更改為設備內置型*
*請聯(lián)系我們。
應用實(shí)例
一般生產(chǎn)線(xiàn)的質(zhì)量控制、電池制造過(guò)程中的水分含量監測
小型通用機型，在保持高速響應的同時(shí)強調便攜性。
1秒內測量從-70℃起的露點(diǎn)變化，同時(shí)支持實(shí)時(shí)測量系統
輕而小，僅重2公斤，方便攜帶至目標區域
由于電池供電，可在沒(méi)有市電的地方使用
應用實(shí)例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體
