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準分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹
“準分子",這個(gè)詞對于很多人來(lái)說(shuō)可能會(huì )比較陌生。但實(shí)際上,準分子光源技術(shù)已存在多年,并已成功應用于一些工業(yè)領(lǐng)域,例如表面處理、消毒、工業(yè)加工、照明等。但在光固化應用中,準分子光源顯示出的特殊效果卻使其在近年來(lái)獲得了越來(lái)越多的關(guān)注。
“準分子紫外光固化技術(shù)",作為光固化技術(shù)的一種,近年來(lái)已成為了光固化應用領(lǐng)域的技術(shù)熱點(diǎn)之一。以準分子板材為例,其消光和膚感效果,正是通過(guò)運用準分子紫外光固化技術(shù)來(lái)實(shí)現的。
在準分子板材的固化過(guò)程中,采用了準分子紫外光固化與中壓紫外線(xiàn)汞燈固化兩種技術(shù)相結合的方式。其中,172nm的準分子紫外線(xiàn)固化技術(shù),作為其關(guān)鍵技術(shù)之一,正是實(shí)現準分子板材消光和膚感效果的主要技術(shù)。其原理在于172nm準分子光屬于短波紫外線(xiàn),穿透能力較為有限(100-500nm),僅能對涂層表面進(jìn)行固化。通過(guò)這兩種固化方式的結合使得涂層表面產(chǎn)生微觀(guān)意義上的褶皺,形成了光的漫反射,從而達到消光和膚感的效果。
適用于 6 英寸晶圓和掩模的長(cháng)壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源
風(fēng)冷緊湊型準分子燈單元,燈長(cháng)160mm,該單元專(zhuān)為VUV 172波長(cháng)的照射而設計,系統結構簡(jiǎn)單,具有低成本、高性能的特點(diǎn),準分子UV燈可實(shí)現低溫精密處理。
緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩?;宓臒?。其特點(diǎn)是簡(jiǎn)單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無(wú)需更換燈管的長(cháng)壽命準分子燈。*1電源為AC100V。
特點(diǎn)
長(cháng)壽命風(fēng)冷準分子燈。無(wú)需更換燈管
本來(lái),準分子紫外線(xiàn)燈的結構是燈泡內部沒(méi)有電極,因此理論上它們被認為是長(cháng)壽命燈,在國外有時(shí)被稱(chēng)為準分子燈。然而,如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線(xiàn)能量導致的玻璃變形,往往導致燈管壽命較短,從而導致成本較高。
根據多年的現場(chǎng)經(jīng)驗,Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件,但不需要更換內部電極。燈管本身,實(shí)現低成本和高可靠性。*1
特征
風(fēng)冷方式,安裝方便。
燈管燈長(cháng)160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時(shí)開(kāi)/關(guān)燈功能。
適合研究和開(kāi)發(fā)。
應用領(lǐng)域
表面潤濕性和改性
光化學(xué)
反應性OH自由基過(guò)程
抗蝕劑去除
UV O3工藝