露點(diǎn)儀在半導體芯片生產(chǎn)中的應用

測量氣體中的水蒸氣露點(diǎn)溫度的儀器叫做露點(diǎn)儀。露點(diǎn)儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同，可以分為多種類(lèi)型。這里只介紹熱電制冷自動(dòng)檢測露層的平衡式精密露點(diǎn)儀在半導體芯片生產(chǎn)中的應用。

露點(diǎn)儀在半導體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監測作用。半導體芯片的生產(chǎn)是在凈化間內進(jìn)行的。凈化間規范往往包括相對濕度（RH）這一項，一年內控制點(diǎn)的范圍從35%到65%，精度2%（70℃以下）濕度超標會(huì )影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計劃的完成。

在半導體芯片生產(chǎn)區，濕度不穩定，會(huì )出現很多問(wèn)題。最典型的問(wèn)題是烘干期延長(cháng)，整個(gè)處理過(guò)程變得難以控制。當相對濕度高于35%時(shí)，元件易被腐蝕。此外，將顯影液噴在芯片表面時(shí)，顯影液迅速揮發(fā)，使芯片表面溫度下降，致使水汽凝結在芯片表面。凝結水不但會(huì )影響顯影特性，還會(huì )吸收到半導體內，這將導致膨化及其它質(zhì)量缺陷，還必須增加一些不必要的工藝控制。

TK-100在線(xiàn)露點(diǎn)儀

過(guò)去 40 年來(lái)，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設備（主要是露點(diǎn)計）。電容式（阻抗式）露點(diǎn)儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產(chǎn)品，用于測量露點(diǎn)或水分含量。
TK-100在線(xiàn)露點(diǎn)儀是TK-100變送器、監視器和傳感器電纜的一套，因此您可以輕松開(kāi)始測量露點(diǎn)。