適用于 6 英寸晶圓和掩模的長(cháng)壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源介紹

風(fēng)冷緊湊型準分子燈單元，燈長(cháng)160mm，該單元專(zhuān)為VUV 172波長(cháng)的照射而設計，系統結構簡(jiǎn)單，具有低成本、高性能的特點(diǎn)，準分子UV燈可實(shí)現低溫精密處理。

緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩?；宓臒?。其特點(diǎn)是簡(jiǎn)單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無(wú)需更換燈管的長(cháng)壽命準分子燈。*1電源為AC100V。

特點(diǎn) 

長(cháng)壽命風(fēng)冷準分子燈。無(wú)需更換燈管

　　　　本來(lái)，準分子紫外線(xiàn)燈的結構是燈泡內部沒(méi)有電極，因此理論上它們被認為是長(cháng)壽命燈，在國外有時(shí)被稱(chēng)為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕更薄、燈管溫度更高以及紫外線(xiàn)能量導致的玻璃變形，往往會(huì )導致燈管壽命較短，從而導致成本較高。

根據多年的現場(chǎng)經(jīng)驗，Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內部電極。燈管本身，實(shí)現低成本和高可靠性。*1

特征

• 風(fēng)冷方式，安裝方便。

• 燈管燈長(cháng)160mm

• 電源 AC100V 50/60Hz

• 瞬時(shí)開(kāi)/關(guān)燈功能。

• 適合研究和開(kāi)發(fā)。

應用領(lǐng)域

• 表面潤濕性和改性

• 光化學(xué)

• 反應性OH自由基過(guò)程

• 抗蝕劑去除

• UV O3工藝

規格

*由于采用緊湊型風(fēng)冷設計，連續點(diǎn)亮時(shí)間在10分鐘以?xún)取?/span>