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適用于60系列 半導體工藝產(chǎn)品特點(diǎn)分析
介紹Flowel株式會(huì )社的各種產(chǎn)品,包括多年來(lái)受到半導體行業(yè)和其他行業(yè)好評的“氟樹(shù)脂接頭"。
可提供專(zhuān)用夾具
?高性能擴口型接頭
?優(yōu)異的液體置換特性
?用途:涂布機、顯影機
采用國內的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結構,接近地滿(mǎn)足客戶(hù)的要求:清潔安全、不積液、不泄漏、無(wú)需重新擰緊,性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。
擴管時(shí)需要特殊工具。有兩種施工方法:“冷"和“熱"。
?冷喇叭口:在室溫下執行的安裝方法(杠桿式)
?熱喇叭口:在加熱條件下執行的安裝方法(杠桿式、手持式)
“專(zhuān)用工具"有兩種類(lèi)型:
?杠桿式:杠桿式夾具將杠桿原理應用于擴口管,因此任何人都可以輕松且均勻地擴口管。
?手持式:熱火炬施工專(zhuān)用的手持式夾具。用熱風(fēng)槍加熱管子,使管子張開(kāi)。
適用于管道長(cháng)度較短和工作區域較少的情況。