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TEAC稱(chēng)重傳感器用于半導體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹
多晶在石英坩堝中熔化,并在旋轉籽晶棒的同時(shí)進(jìn)行拉晶,
以形成單晶棒(使用 CZ 法拉晶錠)。
單晶生長(cháng)稱(chēng)重傳感器
能夠測量微小負載的兩級式
抗噪音及過(guò)載保護功能
單晶生長(cháng)稱(chēng)重傳感器
過(guò)載保護
用于拉制大直徑硅片
超高精度
用于拉制大直徑硅片
高精準度
晶圓是通過(guò)使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。
標準型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個(gè)輸入:稱(chēng)重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
內置型
豐富的網(wǎng)絡(luò )
(EtherNet/IP?CC-Link?RS-485)
通過(guò)PC設置/監控
研磨并拋光晶圓表面。
薄型氣密結構、緊湊、輕量、
連接器式
薄型、剪切型、中心孔型
抗偏心/抗疲勞
標準型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個(gè)輸入:稱(chēng)重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
晶圓的表面經(jīng)過(guò)研磨和拋光,以平整任何不平整的地方。
采用耐彎曲的機器人電纜
通過(guò)使用濺射儀
實(shí)現高響應和高穩定性。
標準型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個(gè)輸入:稱(chēng)重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
內置型
豐富的網(wǎng)絡(luò )
(EtherNet/IP?CC-Link?RS-485)
通過(guò)PC設置/監控