半導體晶片和玻璃面板運輸過(guò)程中的振動(dòng)測量技術(shù)

1. 測量條件

• 使用的測量?jì)x器

• 高速3通道無(wú)線(xiàn)振動(dòng)記錄儀MVP-RF3-HC

• 測量對象

• 液晶玻璃面板

• 尺寸

• 約 1.5m x 1.9m x 1.8mm

• 測量位置

• 將記錄器固定在玻璃基板的中心附近

• 固定方法

• 包裝膠布

• 輸送方向

• Z軸方向（面板垂直方向）

2. 加速度波形（振動(dòng)波形）測量數據

加速度數據是從晶圓移動(dòng)開(kāi)始到停止的這段時(shí)間測量的。
高速3通道無(wú)線(xiàn)振動(dòng)記錄儀內置3軸加速度傳感器，因此可以同時(shí)測量3個(gè)方向的加速度值。

<最大加速度>

<討論>

1. 在這種載體中，啟動(dòng)和停止時(shí)的加速度（振動(dòng)）很大。

2. 運輸過(guò)程中加速度小。

3. 開(kāi)始移動(dòng)時(shí)施加的加速度（振動(dòng)）更大。

4. 施加加速度（振動(dòng)）的方向在 Z 軸方向（面板厚度方向）最大。

5. 最大加速度（振動(dòng)）約為9.8m/sec^2（約1.0G）

3. FFT分析

<FFT分析條件>

在上述“加速度波形數據"中，提取并分析“開(kāi)始移動(dòng)"時(shí)的數據（0至1秒）。

<FFT分析結果>

<討論>

1. Z軸方向（面板厚度方向）在50Hz附近有一個(gè)譜峰。
   →是面板的固有振動(dòng)頻率嗎？

2. 如果設備運行中有50Hz附近的頻率成分，由于共振的影響，面板損壞的可能性增加，估計成品率會(huì )下降。

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