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日本seisen半導體氣體過(guò)濾器產(chǎn)品分析
NASclean®是將微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜過(guò)濾器。我們通過(guò)從過(guò)濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，為半導體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板等生產(chǎn)過(guò)程中使用的氣體過(guò)濾做出貢獻。
使用不銹鋼短纖維的金屬膜過(guò)濾器。
壓力損失小，顆粒去除性能高。
適用于100SLM以下的流量，可用于各種工藝氣體。
過(guò)濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流量下也能實(shí)現低壓損失。
高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的。
支持高達3000Nm 3 /hr的大流量。
MFC、閥門(mén)、調節器等設備保護過(guò)濾器
可根據使用條件選擇低壓型或高壓型。
可安裝在現有管道上。
與集成氣體面板過(guò)濾器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。
通過(guò)采用褶皺介質(zhì)實(shí)現小型化。
采用機械密封，介質(zhì)部分為無(wú)焊縫結構。
使用褶皺介質(zhì)可實(shí)現高速排氣。
通過(guò)防止顆粒卷起有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
可根據安裝空間進(jìn)行設計。
