主動(dòng)控制垂直方向（Z），兩個(gè)水平方向（X，Y），每個(gè)旋轉方向有6個(gè)自由度。

無(wú)論安裝設備的重量（平均負載 0 至 100kg）和重心位置如何，它都表現出穩定的隔振效果。

配備自動(dòng)調平機構，可在啟動(dòng)時(shí)通過(guò)感應車(chē)載設備的重心自動(dòng)調整*佳控制平衡。

消除可能產(chǎn)生灰塵的材料并支持在潔凈室中使用。

面板采用VFD（Vacuum Fluorescent Display），視角廣，觀(guān)看方便。此外，考慮到在暗室中的使用，它還配備了光源的開(kāi)/關(guān)功能。

AFM（原子力顯微鏡）、SPM（掃描探針顯微鏡）。

激光顯微鏡，激光干涉儀。

顯微硬度計。

其他各種精密精密測量?jì)x器。