紅外光非接觸式測厚儀的檢測優(yōu)勢

紅外線(xiàn)可以穿過(guò)某些物質(zhì)。
這是一種利用此特性在不接觸的情況下測量特定材料厚度的技術(shù)。

由于電子設備中使用的硅、藍寶石、水晶和其他化合物的表面都經(jīng)過(guò)高精度拋光，因此不能使用基于接觸的厚度測量，因為它會(huì )劃傷它們。
此外，由于材料會(huì )變形，因此無(wú)法通過(guò)接觸法準確測量橡膠、薄膜、軟樹(shù)脂等的厚度。

激光和電容是非接觸式厚度測量的常用方法，但這些是位移計，不能測量絕對值。我們的紅外光法可以測量絕對值。

紅外光測厚原理

當紅外光投射到工件上時(shí)，它首先被表面反射。
此外，紅外光透過(guò)工件內部并在背面反射。
正反兩面反射的光被光學(xué)探頭接收，利用正反兩面反射光的時(shí)間差作為光干涉差來(lái)測量厚度。

允許對多層進(jìn)行單獨的厚度測量

基于此原理，在如上圖所示的多層工件的情況下，可以從各個(gè)反射光的干涉差來(lái)測量單個(gè)厚度。

以上是PC上顯示反射光干涉狀態(tài)的界面。
從波形的左邊看，它變成了R1到R4的干擾波。每個(gè)干涉差（Peak to Peak）是每一層的厚度。

絕對值測量的*性

《相對值測量》

位移計是一種相對值測量，它測量距離的差異作為厚度。因此，必須準備一個(gè)參考平面（零點(diǎn)）。
此外，如果到參考表面的距離 (Gs) 不是恒定的，則會(huì )出現錯誤。如果無(wú)法維持或隨時(shí)間變化，則每次執行測量時(shí)都需要進(jìn)行零點(diǎn)復位。

《絕對值測量》

紅外光測量是通過(guò)前后表面反射光的干涉差獲得的，因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測量絕對厚度。
即使到工件的距離（Ga）有一定波動(dòng)，如果范圍小于最大測量厚度（約4mm）-工件厚度（t），測量值和精度不會(huì )受到影響。

  

測量距離的*性

為了用位移計達到0.1μm的精度，傳感器頭到工件的距離一般必須在10mm以下。
采用這種紅外光法，測量距離可任意設置，最大可達1000mm左右，可保持0.1μm的測量精度。