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采用球型 SAW 傳感器技術(shù)的微量水分計
Ball Wave的基本技術(shù)“Ball SAW Sensor"是一種創(chuàng )新的化學(xué)傳感技術(shù),實(shí)現了小尺寸、高速和高靈敏度。
直徑1mm
通過(guò)將作為超聲波之一的表面聲波 (SAW) 限制在帶狀的球體表面上而致密。
薄感光膜
由于軌道SAW多次穿過(guò)敏感膜,即使敏感膜很薄也可以測量氣體響應,而且由于敏感膜很薄,因此在膜中的擴散時(shí)間短且速度快。
長(cháng)距離傳播
SAW因敏感膜上的氣體吸附而引起的物性變化在一圈內非常小,重復幾圈可以擴大變化,靈敏度高。
根據測量對象的不同,通過(guò)在微小的水晶球(球)表面形成不同的敏感膜,可以測量各種氣體和氣體,如微量水、氫氣、天然氣和有機混合氣體。
除了水晶球的耐高溫和高壓外,它還具有比傳統技術(shù)高約 100 倍的靈敏度和高速響應,擴展了未有的全新傳感器系統的可能性。
SAW;表面聲波 表面聲波
當在球體表面激發(fā)表面波,其寬度為球體直徑和波長(cháng)的幾何平均寬度時(shí),
會(huì )發(fā)現表面波作為自然平行光束多次繞行的物理現象,不會(huì )引起一種衍射現象。
多圈SAW擴展了聲速變化和衰減系數隨圈數的變化,可以更準確地測量變化。
通過(guò)在這種多循環(huán)傳播路徑上安裝敏感膜,可以獲得緊湊、高速、高靈敏度的球型 SAW 傳感器。
超微量水分計“Falcon Trace"是使用球型SAW傳感器定量測量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設備。
響應速度極快,可實(shí)時(shí)監測含水量變化,可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。氣體中的水濃度可以精確測量到 1 ppb (1/10 億) 的水平。
① 表面聲波(IDT;Inter Digital Transducer)產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道線(xiàn)上循環(huán),對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應 ③ 反應后表面聲波的信號變化 異形電極檢測
④ 通過(guò)多輪積分微小變化實(shí)現高靈敏度傳感。