適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統介紹

它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統，可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
多種測量模式，包括垂直掃描干涉法 (WLI)，適合微米級臺階和形狀的高精度測量，相移干涉法 (PSI)，適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡、自動(dòng)載物臺以及便于操作和分析和管理測量數據的軟件。

主要用途

件。