用于硬涂層膜厚檢測設備-反射光譜膜厚計AFW-100W

[機理] 當
樣品受到光照射時(shí)，它會(huì )根據膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過(guò)薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當光的相位匹配時(shí)，強度增加，而當光相移時(shí)，強度降低。反射計是一種通過(guò)分析該光譜來(lái)測量薄膜厚度的方法。

[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同，無(wú)需接觸即可進(jìn)行測量。
- 與橢偏儀相比，便宜且易于使用。

將來(lái)也可以安裝在量產(chǎn)設備中。