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日本kakenjse實(shí)驗研究用曝光機MA-1200/MA-1400技術(shù)
MA-1200,MA-1400
MA-1200A
手動(dòng)批量曝光機非常適合于高混合,小批量生產(chǎn),實(shí)驗和研究,并且可以進(jìn)行穩定的自動(dòng)間隙控制。
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| MA-1400 | ||
板子尺寸 | 大200 x | 高達400 x 400mm | |
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | |
尺寸和重量 | 車(chē)身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 |
| 體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) |
| 光源重量 | -- | 250公斤 |
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類(lèi)型),自動(dòng)對準,破裂的基板(需要咨詢(xún)) |
我們接受有關(guān)板子尺寸,水銀燈瓦數和特殊規格的咨詢(xún)。
| MA-1200A | |
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | |
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | |
尺寸和重量 | 車(chē)身尺寸 | W850 x D1150 x H1665毫米 |
重量 | 400公斤 | |
選項 | 背面對齊,自動(dòng)對齊,開(kāi)裂的板,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢(xún)) |
*我們接受有關(guān)特殊規格的咨詢(xún),例如板子尺寸,水銀燈瓦數和UV-LED安裝。