日本tekhne SF6氣體純度露點(diǎn)儀MBW973-SF6

特征

• 抽查 
• SF6氣體露點(diǎn)管理
• 氣體變壓器/氣體斷路器
• 氣體絕緣開(kāi)關(guān)
• 半導體和液晶面板的干法蝕刻工藝
• SF6氣體回收與再循環(huán)

主要用途

• SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點(diǎn)測量

環(huán)保測量?jì)x

SF6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其減排目標是由《京都議定書(shū)》設定的，據說(shuō)其溫室效應約為每單位體積CO 2的23,400倍。SF6氣體在斷路器/變壓器和半導體工藝中用作絕緣氣體，因此必須測量水分和SF6純度以保持其絕緣性。
另一方面，到目前為止，在日本，測量時(shí)通常將其釋放到大氣中，或者不釋放而以高成本進(jìn)行收集和分解。通過(guò)使用MBW973-SF6，可以將測得的SF6氣體返回到原始設備而不會(huì )釋放到大氣中，并且可以將向大氣中的釋放減少到零。

高精度測量

迄今為止，由于電容類(lèi)型易于獲取，因此通常被使用。另一方面，MBW973-SF6的露點(diǎn)和純度測量均采用高精度鏡型，因此可以分別以±0.5°C和0.5％的精度進(jìn)行高精度測量，響應速度快，隨時(shí)間的推移幾乎沒(méi)有劣化。是。通過(guò)使用該裝置，可以大大減少操作者的工作時(shí)間，并且可以容易地進(jìn)行可靠的測量。

SO 2測量選項

SF6氣體通過(guò)與水反應來(lái)凈化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6可以測量0至100ppm或0至500ppm范圍內的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池，可以滿(mǎn)量程±2％的精度進(jìn)行測量。