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3D 表面形狀測量系統

3D 表面形狀測量系統

產(chǎn)品型號： Profilm 3D

所屬分類(lèi)：面包體積測定

產(chǎn)品時(shí)間：2021-06-16

簡(jiǎn)要描述：日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D
它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統，可以無(wú)接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產(chǎn)品更緊湊、更便宜。

詳細說(shuō)明：

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D

它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統，可以無(wú)接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡的左輪、自動(dòng)載物臺以及便于操作、分析和管理測量數據的軟件。

主要特點(diǎn)

  • 低價(jià)！
    在配備所有必要功能的同時(shí)實(shí)現低價(jià)
  • 納米級高分辨率
    采用相移干涉法實(shí)現高分辨率
  • 全標準設備
    XY自動(dòng)載物臺，手動(dòng)左輪，自動(dòng)光強調節，自動(dòng)對焦功能
  • 緊湊的外殼
    主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設計。
  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設備即可
    測量臺階測量和粗糙度測量
  • 操作
    簡(jiǎn)單 基本操作只是簡(jiǎn)單的鼠標操作
  • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
    國際標準 ISO25178
  • 可擴展性
    多種物鏡選擇，數據拼接功能

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統Profilm 3D

主要應用

半導體晶圓凸塊、CMP焊盤(pán)等
醫療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節、支架等
安裝板銅線(xiàn)、凸點(diǎn)、透鏡等

測量規格?

 垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)相移干涉測量 (PSI)
測量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
準確性0.7%——
再現性0.1%——
反射范圍0.05% – 100%0.05% – 100%


設備規格

XY自動(dòng)載物臺100mm x 100mm
Z軸驅動(dòng)范圍100mm
壓電驅動(dòng)范圍500微米
掃描速度12微米/秒
相機2592 x 1944（500 萬(wàn)像素）
體重15公斤
 


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