內置式陶瓷氣體過(guò)濾器

產(chǎn)品型號： PGF系列

所屬分類(lèi)：過(guò)濾器

產(chǎn)品時(shí)間：2021-05-08

簡(jiǎn)要描述：日本pureron內置式陶瓷氣體過(guò)濾器PGF系列
在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說(shuō)，管道系統的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應這一時(shí)代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過(guò)濾器，從而實(shí)現了具有長(cháng)久穩定狀態(tài)的0.003μm的高過(guò)濾精度。

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日本pureron內置式陶瓷氣體過(guò)濾器PGF系列

• 高過(guò)濾精度
  在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說(shuō)，管道系統的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應這一時(shí)代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過(guò)濾器，從而實(shí)現了具有長(cháng)久穩定狀態(tài)的0.003μm的高過(guò)濾精度。
• 蝕刻和薄膜形成時(shí)必*高選擇性
  在追求高選擇性的過(guò)程中，極其重要的一點(diǎn)是去除水、氧氣等不純物的問(wèn)題。為了切實(shí)地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態(tài)下進(jìn)行烘烤。從該觀(guān)點(diǎn)出發(fā)研制出的陶瓷過(guò)濾器可進(jìn)行200℃的高溫烘烤。
• 零維護實(shí)現成本削減
  能夠根據粒子粒徑大小分階段進(jìn)行過(guò)濾的三層結構，因此幾乎不會(huì )有堵塞的問(wèn)題。并且與以往的過(guò)濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過(guò)濾器不會(huì )在使用過(guò)程中出現故障。所以不會(huì )因生產(chǎn)線(xiàn)暫時(shí)中斷而帶來(lái)經(jīng)濟損失，并可長(cháng)期持續地削減成本。

日本pureron內置式陶瓷氣體過(guò)濾器PGF系列

規格