測量殘留氣體成分的智能真空計

產(chǎn)品型號： SC-10

所屬分類(lèi)：真空計

產(chǎn)品時(shí)間：2021-05-07

簡(jiǎn)要描述：日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10
用于測量殘留氣體成分的真空計用于真空設備的健康檢查！

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日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10

?通過(guò)監視殘留氣體成分，可以監視真空裝置的健康狀況，并可以立即發(fā)現異常。
?用此一臺可以測量真空度（總壓力）和氣體成分（分壓）。

SC-10智能真空計是我們開(kāi)發(fā)的一種全新的自動(dòng)真空計，可以測量殘留氣體成分和總壓真空。
總壓力真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當總壓力達到約50Pa時(shí)，氣體成分的分壓會(huì )自動(dòng)啟動(dòng)，并且可以測量約10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的壓力范圍內測量氣體成分并檢查泄漏，這是常規氣體分析儀無(wú)法做到的。

由于智能真空計可以測量殘留氣體的成分，因此可以快速了解真空設備的聲音狀況，例如排氣裝置中的水蒸氣泄漏和脫氣。下兩個(gè)圖顯示了同一設備的不同排氣數據，但在圖1中顯示了正常排氣，其中水蒸氣是主要成分，并且確定了總壓力真空，而在圖2中，氮氣是由于泄漏造成的?？梢钥吹?，從下降的排氣開(kāi)始大約5分鐘后，排氣停止了，如果繼續排氣，則大約10分鐘后，氮含量變得比水蒸氣大，并且總氮含量下降。壓力真空停止。通過(guò)使用智能真空計，您可以快速發(fā)現排氣異常及其原因，而僅通過(guò)監視總壓力真空是無(wú)法理解的。

使用智能真空計不僅可以發(fā)現泄漏，還可以噴射氦氣或氬氣以找到泄漏的位置。圖3顯示了在泄漏點(diǎn)上噴射氬氣時(shí)的智能真空計的數據，但是可以看到，由于氬氣的增加和氮氣的減少，這里存在泄漏。在停止泄漏之后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，并成為典型真空裝置的殘留氣體成分。

日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10

測定原理

SC-10通過(guò)測量總壓力的冷陰極壓力表的放電顏色來(lái)區分氣體成分。通過(guò)利用光的顏色（波長(cháng)）根據氣體成分而不同的事實(shí)來(lái)測量該成分。也可以在SC-10的光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長(cháng)。
由于氣體成分測定部設置在大氣壓側，因此不會(huì )被真空中的氣體污染，因此能夠不受污物的影響而進(jìn)行測定。此外，冷陰極規沒(méi)有燈絲，因此可用于堅韌耐用的應用。