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產(chǎn)品型號： AP250 / AP500
所屬分類(lèi)：壓力控制器
產(chǎn)品時(shí)間：2021-05-06
簡(jiǎn)要描述：日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當于A(yíng)P100N）和圓頂型調節器單元組成。
日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當于A(yíng)P100N）和圓頂型調節器單元組成。
此外，外部安裝有壓力傳感器，來(lái)自傳感器的信號輸入到氣壓控制單元，氣壓控制組的閥被開(kāi)/關(guān)控制，以調節調節器中球罩的內部壓力自動(dòng)調節以匹配任何設定的壓力值。通過(guò)將流量傳感器安裝到外部，它也可以用作流量控制器。
AP250的最大控制流量為5001 / min，AP500的最大控制流量為2000L / min，兩種類(lèi)型的最大控制壓力約為600kPa。
壓力接頭與適用于A(yíng)P250的1/2“ VCR和適用于A(yíng)P500的3/4” SWAG等效或等同于用于A(yíng)P500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體，用于導體，惰性氣體，腐蝕性氣體，危險氣體等可以使用。
日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
規格
| 模型 | AP250 | AP500 |
| 主要用途 | 對于FPD，燃料電池 | 對于FPD，燃料電池 |
| 目標氣體 | N2，空氣，H2等 | N2，空氣，H2等 |
| 入口壓力 | 999kPa以下 | 999kPa以下 |
| 耐壓 | 小于1500kPa | 小于1500kPa |
| 壓力設定 | 用顯示設定裝置設定 | 用顯示設定裝置設定 |
| 控制方式 | 圓頂內部的氣動(dòng)控制 | 圓頂內部的氣動(dòng)控制 |
| 控制壓力 | 0-500kPa | 0-500kPa |
| 最大流量 | 500L /分鐘 | 2000L /分鐘 |
| 響應時(shí)間 | 1秒鐘達到設定值 | 1秒鐘達到設定值 |
| 輸入信號 | 0-5 VDC連續/關(guān)閉 | 0-5 VDC連續/關(guān)閉 |
| RS485 | RS485 | |
| 外部傳感器輸入 | （4至20mA標準） | （4至20mA標準） |
| 輸出信號 | 報警輸出，RS485 | 報警輸出，RS485 |
| 管件 | 相當于1/2英寸的VCR或相當于1/2英寸的世偉洛克 | 相當于3/4英寸的VCR或相當于3/4英寸的世偉洛克 |
| 閥座泄漏 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 |
| 準確性 | 取決于壓力傳感器的規格 | 取決于壓力傳感器的規格 |
| 電源電壓 | 24VDC±10％ | 24VDC±10％ |
| 目前的消費 | 200mA以下 | 200mA以下 |
| 工作溫度 | 0-50℃無(wú)凝結 | 0-50℃無(wú)凝結 |
| 面之間的外部尺寸 | 寬70×深145×高124mm | 寬80×深178×高170mm |
| 壓力傳感器 | 無(wú)（外部） | 無(wú)（外部） |
| 顯示設定裝置 | 是（可以單獨安裝） | 是（可以單獨安裝） |
