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產(chǎn)品型號： SC-701AT
所屬分類(lèi)：涂布機
產(chǎn)品時(shí)間：2021-03-15
簡(jiǎn)要描述：日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT排氣→涂層（蝕刻）→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡(jiǎn)單型）全自動(dòng)濺射設備，操作簡(jiǎn)便，重現性高
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
特征
應用/結果示例
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701AT
基本規格
| 陰極 | φ2英寸/ 2極面對電極 |
| 濺射靶 | 包含金靶 |
| 蝕刻目標 | 包括Al目標 |
| 膜厚設定方法 | 預設方法/帶膜厚監視器的數字顯示 |
| 氣體導入機制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直連式旋轉泵：20l / min（帶自動(dòng)泄漏） |
| 排氣操作 | 自動(dòng)的 |
| 箱體尺寸 | 內徑φ120mm x D120 mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門(mén)開(kāi)合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：15公斤 RP：9公斤 |
