日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標準型

產(chǎn)品型號：

所屬分類(lèi)：隔震臺

產(chǎn)品時(shí)間：2020-11-13

簡(jiǎn)要描述：日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標準型
配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動(dòng)。
高速計算由我們獨chuang的主動(dòng)隔振算法執行，而振動(dòng)立即由高精度大功率執行器消除。

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日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標準型

配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動(dòng)。

高速計算由我們獨chuang的主動(dòng)隔振算法執行，而振動(dòng)立即由高精度大功率執行器消除。

我們地板側慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器，并通過(guò)前饋控制實(shí)現了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而沒(méi)有共振現象的同時(shí)，還可以在短時(shí)間內同時(shí)衰減由安裝臺的激振力施加的振動(dòng)。

配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標準設備。

特點(diǎn)

• 振動(dòng)傳遞特性無(wú)共振。實(shí)現從低頻到高頻的超寬帶隔振。
• 具有6個(gè)自由度的高精度位置控制始終可實(shí)現穩定的隔振性能和位置精度。
• 可以選擇具有高響應速度的大流量閥，以應對較大的移動(dòng)負載。
• 安全可靠的設計與CE標記兼容。（控制器SAC-07）
• 標配臺前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。

用途

• 在半導體制造和檢查設備中，它被用作對付需要精細處理的晶片上的振動(dòng)的對策，并且被用作對付晶片移動(dòng)臺上的振動(dòng)的對策。
• 在液晶制造和檢查設備中，其目的是在龍門(mén)架或工作臺顯著(zhù)移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng)，并立即對其進(jìn)行檢查或糾正，這有助于縮短節拍時(shí)間。
• 在超精密機床中，它用于消除工作臺上的振動(dòng)以進(jìn)行精密加工，同時(shí)支持大載荷的運動(dòng)。

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標準型