日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

產(chǎn)品型號：

所屬分類(lèi)：位移計

產(chǎn)品時(shí)間：2020-11-03

簡(jiǎn)要描述：日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無(wú)源型"，探頭中沒(méi)有內置電路。因此，穩定性大大提高。此外，由于沒(méi)有電路部件，因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇。

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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無(wú)源型”，探頭中沒(méi)有內置電路。因此，穩定性大大提高。此外，由于沒(méi)有電路部件，因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

出色的高穩定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩定性的一例℃。
您可以看到已經(jīng)進(jìn)行了12小時(shí)的長(cháng)時(shí)間穩定測量。

實(shí)現高分辨率測量

大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進(jìn)電信號驅動(dòng)的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進(jìn)信號，也可以很好地檢查響應。

• 1nm步進(jìn)
  波形：頻率0.15Hz步進(jìn)寬度1nm。
  頻段設定：100Hz

優(yōu)異的線(xiàn)性度0.05％

通過(guò)使用不需要線(xiàn)性化器的測量方法，可以實(shí)現出色的線(xiàn)性度。

• 
  較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒(méi)有內置電路，因此尺寸已大大減小。
  這大大擴展了結合到測量系統中的自由度。
• 使用的連接電纜，可以
  在通道之間進(jìn)行同步操作。即使使用多臺設備，也可以通過(guò)連接通道進(jìn)行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩定測量結果。
• 您可以減少系統構建的成本。
  當使用多個(gè)通道時(shí)，只有通過(guò)按需供電才可以擴展，因此可以降低系統構建成本。

可以在真空中進(jìn)行測量

通過(guò)使用與真空兼容的定制探頭，可以測量真空中的位移。

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應用領(lǐng)域

• 精密定位，位置檢測，半導體的姿態(tài)控制，精密處理，顯微鏡等
• 壓電元件的振動(dòng)和振幅測量等
• 硅片，金屬板，精密加工零件等的平面度和厚度測量
• 測量軸跳動(dòng)，表面跳動(dòng)和精密電機的圓度等
• 納米位移測量