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日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列

日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列

產(chǎn)品型號:

所屬分類(lèi):

產(chǎn)品時(shí)間:2020-09-17

簡(jiǎn)要描述:日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列
該系列使用內部加熱型護套加熱器,以從超高真空區域到高,中和真空區域獲得穩定的壓力,并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列提高了加熱油的熱效率(與我們公司相比),因此具有運行時(shí)間短,排氣量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。另外,可以減少液壓油的量。

詳細說(shuō)明:

日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列

 

ESV系列的功能

該系列使用內部加熱型護套加熱器,以從超高真空區域到高,中和真空區域獲得穩定的壓力,并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列提高了加熱油的熱效率(與我們公司相比),因此具有運行時(shí)間短,排氣量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。另外,可以減少液壓油的量。

使用例

  • 各種真空爐
  • 各種實(shí)驗的排氣裝置
  • 各種成膜設備
  • 電子束焊接

日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列

ESV系列陣容

模型單位單位ESV-161ESV-221SESV-241
大排氣速度升/秒7,50013,50020,000
達到壓力10 -510 -510 -5
工作壓力范圍10 -5至0.410 -5至0.410 -5至0.4
臨界背壓333533
大排氣量帕升/秒1,1301,6801,460
用油 獅子A獅子A獅子A
油量大號23
墊片 

氯丁橡膠

氯丁橡膠

氯丁橡膠

加熱器格式 

種子

種子

種子

電壓,相ACV,相

200、3

200、3

200、3

格式千瓦

5.5 5.5

7.5 7.5

9.0

進(jìn)氣口 

VG400

VG550

VG600

輔助端口 

VG100

VG150

VG150

冷卻方式 

水冷

水冷

水冷

冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

11

15

15

輔助泵 

KP-4500BG

KP-7500BG

KP-7500BG

擋板格式 

16C(雪佛龍)

22L(百葉窗)

24L(百葉窗)

帶擋板的排氣速度升/秒

3,000

6,500

8,000

擋板冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

11

3

3

機油倒流cm 3 / cm 2分鐘

10 -7

10 -7

10 -7

材料圓筒

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

噴射

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

大眾公斤

160

250

350

     
模型單位單位ESV-24SESV-281SESV-361S
大排氣速度升/秒19,00023,00039,000
達到壓力10 -510 -510 -5
工作壓力范圍10 -5至0.410 -5至0.410 -5至0.4
臨界背壓303040
大排氣量帕升/秒1,3002,5002,800
用油 獅子A獅子A獅子A
油量大號9
墊片 

氯丁橡膠

氯丁橡膠

氯丁橡膠

加熱器格式 

種子

種子

種子

電壓,相ACV,相

200、3

200、3

200、3

格式千瓦

9.0

12

15.6

進(jìn)氣口 

VG600

VG700

VG900

輔助端口 

VG150

VG200

VG200

冷卻方式 

水冷

水冷

水冷

冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

15

15

15

輔助泵 

KP-7500BG

TMB-1500 + KP-4500BG

TMB-2500 + KP-7500BG

擋板格式 

24L(百葉窗)

28L(百葉窗)

28L(百葉窗)

帶擋板的排氣速度升/秒

10,500

120,000

22,000

擋板冷卻水量L / min,在25℃時(shí)

3

3

3

機油倒流cm 3 / cm 2分鐘

10 -8

10 -7

10 -7

材料圓筒

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

噴射

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

鐵(鍍鎳)

大眾公斤

200

400

830



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