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產(chǎn)品型號:
所屬分類(lèi):物理性能檢測儀
產(chǎn)品時(shí)間:2020-08-24
簡(jiǎn)要描述:日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3消除了由于測量者能力引起的誤差。出色的檢查精度和高數據可靠性。
日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3
在利用光散射的掩模版/掩模異物檢查裝置中,重要的技術(shù)要素是區分來(lái)自異物的散射光(異物光)和來(lái)自圖案的散射/衍射光(圖案光)。在PD系列中,我們主要將散射光的偏振特性用于判別。在初的設備中,使用了光學(xué)系統的布置和偏振片對圖案光的消光,在下一個(gè)系列中,使用了熄滅圖案光的檢測器與熄滅外來(lái)光的檢測器之間的信號強度比。此外,近的模型集中于圖案光和異物光的信號形狀來(lái)執行信號處理。xin的PRPD3采用了一種判別方法,該方法涵蓋了傳統判別方法的優(yōu)點(diǎn),并將其用作可以處理更多模式的信號處理方法。
日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3
PIE-C3で検査することのメリット
検査制度の信頼性
検査データの客観性
経済性?作業(yè)効率