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產(chǎn)品型號:
所屬分類(lèi):物理性能檢測儀
產(chǎn)品時(shí)間:2023-06-29
簡(jiǎn)要描述:日本電測densoku熒光X射線(xiàn)膜測厚儀EX-731極小面積的高精度測量和出色的可操作性大尺寸基板的測量?通過(guò)使用雙重過(guò)濾器以gao精度和jia佳條件進(jìn)行測量?通過(guò)將鼠標對準測量位置來(lái)快速對準?多任務(wù)功能甚至在測量過(guò)程中也可以創(chuàng )建報告等其他處理?小準直儀可以測量直徑為0.05毫米的極小零件
日本電測densoku熒光X射線(xiàn)膜測厚儀EX-731
采用雙重過(guò)濾器
通過(guò)使用除數值濾波器以外的機械濾波器(雙重濾波器),可以在jia條件下進(jìn)行測量,從而始終獲得gao的精度。
自動(dòng)測量階段
通過(guò)將鼠標對準測量位置來(lái)實(shí)現快速對準。如果注冊測量位置,則可以進(jìn)行連續自動(dòng)測量。坐標校正和通道鏈接支持各種模式。標準板校準也可以自動(dòng)測量。
完整的報告創(chuàng )建功能
通過(guò)采用MS-Windows軟件,可以輕松捕獲測量屏幕,并增強報告創(chuàng )建功能。使用多任務(wù)功能,即使在測量期間也可以進(jìn)行包括報告創(chuàng )建在內的其他處理。
5種準直儀
小準直儀為0.1φmm,可以測量極小的零件。標準,0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外,有兩種特殊規格可供選擇。
? 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
? 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自診斷功能和X射線(xiàn)管維護功能
使用自診斷功能,可以迅速解決設備故障。此外,增加了顯示X射線(xiàn)管使用時(shí)間和使用壽命的功能,以支持維護安全。
膜厚測量中的頻譜顯示
通過(guò)多通道進(jìn)行光譜分析高速處理使顯示被測物的光譜變得容易。(處理速度約2-3秒)
在測量部分顯示監控圖像
在Windows屏幕上捕獲X射線(xiàn)照射單元并顯示X射線(xiàn)照射單元。準直儀提供了改變尺寸的放大倍率功能。
可視顯示測量對象的鍍層附著(zhù)力分布
三維圖形顯示可輕松查看測量對象的鍍層厚度分布。
Be 窗口X射線(xiàn)管(選件)提高的性能(高精度)
我們已經(jīng)為熒光X射線(xiàn)膠片厚度計準備了Be窗口X射線(xiàn)管。
通過(guò)使用Be窗口X射線(xiàn)管,Cr測量和Ni測量的重復測量精度顯著(zhù)提高。
與標準X射線(xiàn)管的比較
Sn等的高能量(高原子序數)測定與以前相同。
當測量低能量(低原子序數)的Cr和Ni時(shí),Cr的重復性提高了約3倍,Ni的重復性提高了約2倍。
當測量?jì)蓪訒r(shí),中間層中Ni的測量精度提高了約20%。
通過(guò)使用Be窗口X射線(xiàn)管,Cr的熒光X射線(xiàn)強度比常規標準設備的熒光X射線(xiàn)強度高大約9倍。
因此,可以在短時(shí)間內以與以前相同的精度進(jìn)行測量。
請考慮使用此Be窗口X射線(xiàn)管。
日本電測densoku熒光X射線(xiàn)膜測厚儀EX-731
類(lèi)型 | 手動(dòng)階段 | 電動(dòng)舞臺 | ||
測量頭 | 尺寸(毫米) | 170 x 110 | 300 x 280 | |
運動(dòng)量 | X(毫米) | 70 | 80 | |
Y(毫米) | 70 | 60 | ||
Z(毫米) | 80(大物體高度150) | 50 | ||
被測物體高度(大) | 80(選件150) | 50 | ||
尺寸(毫米) | 600(寬)x 465(深)x 730(高) | |||
重量(公斤) | 79 | 85 | ||
樣品負荷(kg) | 3 | 2 | ||
電腦 | 尺寸(毫米) | 機身182(W)x 383(D)x 372(H) /顯示器412(W)x 415(D)x 432(H) | ||
重量(公斤) | 主機6.8 /顯示器2.8 | |||
打印機 | 重量(公斤) | 3.4 | ||
電源供應 | AC100V±10V的 |
(注)規格如有變更,恕不另行通知。
X射線(xiàn)源 | 油浸式微聚焦X射線(xiàn)管 靶:鎢 管電壓50kV, 管電流可變 |
照射方式 | 頂部垂直照射法 |
探測器 | 比例柜臺 |
準直儀 | 5種(自動(dòng)切換類(lèi)型) 0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm (選件):0.05、0.1、0.2、0.3、0.5 ,φ :0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ |
樣品觀(guān)察 | CCD彩色相機 |
電腦 | 兼容PC / AT的 17英寸彩色顯示器 |
打印機 | 噴墨打印機 |
測量對象 | 原子序數22(Ti)至82(Pb) 原子序數21以下可通過(guò)吸收法測定 |
過(guò)濾 | 2種(Co,Ni)自動(dòng)切換 |
可測范圍 | 原子數22至24:0.02至約20μm 原子數25至40:0.01至約30μm 原子數41至51:0.02至約70μm 原子數52至82:0.05至約10μm |
校正曲線(xiàn) | 自動(dòng)校準曲線(xiàn)創(chuàng )建功能 多點(diǎn)校準曲線(xiàn) |
校正功能 | 基礎校正 |
應用 | 單層鍍層測量 兩層鍍層測量 三層鍍層測量 合金膜厚成分比同時(shí)測量 化學(xué)鍍鎳測量 |
測量功能 | 自動(dòng)測量 輸出格式設置 頻譜測量 兩點(diǎn)之間的距離測量 |
自動(dòng)表功能 | 測量位置(XYZ) 相同圖案重復功能 原點(diǎn)校正功能 測量位置確認功能 自動(dòng)校準 |
數據處理功能 | 統計顯示:平均值,標準偏差,大值,小值,范圍,Cp,Cpk 直方圖 輪廓顯示 測量數據三維顯示 x-R控制圖 |
安全功能 | X射線(xiàn)電源鑰匙開(kāi)關(guān) 故障安全功能 |
其他特性 | 平臺坐標顯示 密碼功能 設備維護 |