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日本thermal測量薄膜和微小區域的熱導率

日本thermal測量薄膜和微小區域的熱導率

產(chǎn)品型號: TM3

所屬分類(lèi):

產(chǎn)品時(shí)間:2020-10-08

簡(jiǎn)要描述:日本thermal測量薄膜和微小區域的熱導率TM3
熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測量熱導率的裝置,熱導率是熱物理性質(zhì)值之一。
它是一種可以通過(guò)點(diǎn),線(xiàn)和表面來(lái)測量樣品的熱性能的設備。
也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規熱物理性質(zhì)測量設備中被認為是困難的。

詳細說(shuō)明:

日本thermal測量薄膜和微小區域的熱導率TM3

特征

  • 熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測量熱導率的裝置,熱導率是熱物理性質(zhì)值之一。
  • 它是一種可以通過(guò)點(diǎn),線(xiàn)和表面來(lái)測量樣品的熱性能的設備。
  • 也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規熱物理性質(zhì)測量設備中被認為是困難的。
  • 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測量的設備。
  • 利用檢測到的3μm的光斑直徑,可以在高分辨率的微小區域中測量熱物理性質(zhì)(點(diǎn)/線(xiàn)/表面測量)。
  • 由于可以通過(guò)改變深度范圍進(jìn)行測量,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
  • 您也可以測量基材上的樣品。
  • 激光非接觸式測量。
  • 可以檢測薄膜下方的裂縫,空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。

  1. 由于金屬的反射率具有根據表面溫度而變化的性質(zhì)(熱解法),因此通過(guò)捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強度的變化,來(lái)測量表面的相對溫度變化。去做。
  2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導致表面溫度響應的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過(guò)測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來(lái)獲得熱滲透率。?

日本thermal測量薄膜和微小區域的熱導率TM3

主要規格

名稱(chēng)/產(chǎn)品名稱(chēng)熱物理顯微鏡/熱顯微鏡
測量方式熱物理性質(zhì)分布測量(1維,2維,1點(diǎn))
測量項目熱滲透率,(熱擴散率),(熱導率)
檢測光斑直徑約3μm
1點(diǎn)測量標準時(shí)間10秒
待測薄膜厚度幾百納米到幾十微米
重復精度耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10%
樣品1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板狀樣品30mm x 30mm以?xún)?,厚?mm以?xún)?ul>
  • 需要對樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。
  • 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
  • 工作溫度極限24°C±1°C(根據設備中內置的溫度傳感器)
    平臺移動(dòng)距離? X軸方向20mm
    ? Y軸方向20mm
    ? Z軸方向10mm
    加熱激光半導體激光波長(cháng):808nm
    檢測激光半導體激光波長(cháng):658nm
    電源供應交流100V 1.5kVA
    標準配件樣品架,參考樣品
    選項光學(xué)壓盤(pán),空調,空調房,飛濺裝置
    • 性能和外觀(guān)如有更改,恕不另行通知。?


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