STIL 模塊化光學(xué)筆“DUO"原理分析

實(shí)現更精確的表面形狀測量。 更寬的測量范圍 除了先前型號中使用的
測量方法（“共聚焦色度模式"）外，還安裝了新的“干涉測量模式"。 現在可以支持更精確的表面輪廓測量。 兩種模式都可以根據所需的測量精度使用，從而擴大了應用范圍。

雙?？刂破?/p>

控制器可用于共聚焦色度模式和干涉測量模式。 與以前的型號一樣，系統配置易于使用且簡(jiǎn)單，只需根據所需的測量精度更換筆式模塊即可。

測量原理（干涉測量模式）

光源發(fā)出的光會(huì )反射在測量對象、參考板和參考平面上。 此時(shí)，兩個(gè)反射光之間存在光程差。 如圖所示，如果將參考板插入待測物體的前面并盡可能靠近，使光程差進(jìn)入干涉距離，則兩個(gè)反射光之間會(huì )發(fā)生干涉。 由于這種干涉的光譜強度是由波長(cháng)調制的，因此可以通過(guò)軸向顏色校正光學(xué)筆進(jìn)行測量和分析，以實(shí)現更精確的厚度測量。