X射線(xiàn)薄膜測厚儀的檢測原理及優(yōu)勢

測厚儀（薄膜測厚儀）使用軟X射線(xiàn)（soft X-rays）。以非接觸方式（軟 X 射線(xiàn)）測量片材和板狀物體的厚度和密度（基重）。不是直接測量厚度，而是通過(guò)與參考材料比較來(lái)計算厚度和密度（基重）。
　通常，為了測量片材寬度方向的厚度分布，檢測系統由掃描儀攜帶并測量。激光位移計一般用作非接觸式測量厚度的手段，但如果將激光位移計安裝在掃描儀上，則在運輸過(guò)程中只能以遠低于激光位移計的精度進(jìn)行運輸。運輸，導致結果。高精度的測量是困難的。
　另一方面，在X射線(xiàn)測厚儀等通過(guò)透射衰減估算厚度的方法中，測量的是空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減，但樣品的衰減遠大于，傳輸的影響只表現為空氣層厚度的變化，影響較小。因此，可以高精度地測量。

X 射線(xiàn)測厚儀的一般特點(diǎn)

1. 無(wú)需規定放射線(xiàn)處理負責人或X射線(xiàn)工作負責人或設置控制區域
   （需要通知勞動(dòng)標準檢查辦公室）
   

2. 路徑錯誤可以忽略
   

3. 元素依賴(lài)性大
   

與傳統的軟 X 射線(xiàn)測厚儀相比，我們的軟 X 射線(xiàn)測厚儀的特點(diǎn)

1. 探測器和 X 射線(xiàn)源結構緊湊、重量輕，甚至可以安裝在狹窄的線(xiàn)路中。
   

2. 寬測量范圍（材料/厚度）
   

采用

• 銅箔、鋁箔、不銹鋼箔
  

• 電池電極
  

• 陶瓷（片材、晶片）
  

• 玻璃纖維布